选用800W微波电源，矩形波导传输微波，同轴天线进行形式转化和将微波导入椭球谐振腔；
微波等离子体设备由椭球谐振腔、真空室、堆积台、真空体系、气体流量控制体系、真空丈量体系、水冷循环水压报警体系以及机架等组成。
2.1.4调查窗：在椭球谐振腔的恰当方位设置多个调查孔，使视野能看到石英钟罩内的等离子体和衬底，衬底和等离子体的方位，调查孔的尺度以不走漏微波为准（直径为≤2 mm的孔）；
